合肥工廠廠房凈化車間工程的幾種常見類型
來源:hdwt.com.cn 作者:空氣好凈化
發布時間:2021-05-18 14:24:29點擊:次
合肥工廠廠房凈化車間工程的幾種常見類型,下面由安徽空氣好凈化工程為大家詳細說明:
一、層流式
此種方式是根據空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈車間等級需定較高的環境使用,一般其潔凈車間等級為Class1~100。
其型式可分為二種:
1、垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
2、水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
二、亂流式
此種方式是讓空氣通過空調箱經風管與潔凈車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈車間,并由潔凈車間兩側隔間墻板或高架地板回風。此型式適用于潔凈車間等級1,000-100,000級。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。
優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈車間的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈車間等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
三、復合式
此種方式是為了將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
1、裝局部潔凈車間:將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
2、凈管道:將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
3、凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:①彈性擴充容易;②維修設備時可在維修區輕易執行。